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日本光驰OTFC-1300MM OTFC-1550MM光学镀膜机-真空镀膜机-电镀机介绍
OTFC-1300光学镀膜机配置
厂商 | OPTORUN | OPTORUN |
型号 | OTFC1300C | OTFC1300DB |
序列号 | S0019 | S0567 |
电子(双电子有无) | JST-10F-2GUN | JST-10F-2GUN |
坩埚点数 | 24点+28点 |
|
旋转泵 |
| VS2401 |
机械升压泵 | EH500 |
|
扩散泵 | 冷冻U20Px2台 | 22’x2台 |
冷冻机 | 无 | Polycold PFC-670HC |
离子(射频离子源) | 有 | 无 |
光学检测有无(光控/精控) | 有 | 有 |
基板加热heater有无 | 有 | 有 |
回转 | 回转 | 回转 |
OTFC-1550光学镀膜机配置
真空室:SUS304,Ф1550*1800MM |
工件架:Ф1400 |
工件架转速:10rpm to 30rpm (可变) |
光学膜厚控制:HOM2- -R -VIS350A |
光学膜厚监控仪:波长范围: 350nm to 1100nm |反射式 |
水晶式膜厚计:XTC/3+6点式水晶传感器 |
蒸发源:2套日本电子24P双 |
离子源:23 寸光驰RF离子源 |
排气系统:机械泵1个,扩散泵Polycold 275机械泵+爱德华配套罗茨泵 |
性能 |
达到压力:7. 0X10-5Pa以下 |
排气时间:20分(大气压~1. 3X 10-3Pa) |
基板温度:: 350C |
工作条件 |
|
电源:3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA |
水流量:180升/分以上 |
空气压力:0.5MPa以上 |
重量:约11000kg |
二手机械库存明细(可租可售)
双面抛光机系列:
日本:hamai16B speedfam16B 21B 28B 30B 40B 双面抛光研磨机
德国:Peter Wolters 319/320系列双端面抛光机
国产:金研/宇晶 兰州瑞德9.6B 9S 9B 13B 15B 16B 20B
镀膜机械系列:
日本:光弛OTFC-1300/1550/2350
德国:莱宝:1100
闽台:龙翩LP-1400/1650/1800
韩国:韩一 1200 1600 联合2050
南光:1100/1300
检测仪器:
日本岛津:1900/2401/2550/3700分光光度计
日 立 :2900/4000/4001/4150 光谱仪
/三次元(2010/3020/4030.......)
一批二手形机120/175MM
一批无尘洁净台2.44*1.2*1.95米
一批10-13槽半自动声波清洗机
切割机:
闽台精一异形切割机690*920
闽台爱玻璃切割机
日本全自动切割机
日本多切割机
日本迪思科DISCO切割机